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Bei der Erzeugung von dünnen TiC- und TiN-Schichten in PVD- und CVD-Verfahren findet Graphit und die aus diesem Werkstoff gefertigten Teile Verwendung.
Dank der hohen Wärmebeständigkeit sowie chemischen und mechanischen Festigkeit von Graphit werden bei den vorgenannten Verfahren folgende Produkte eingesetz
Graphittragringe
perforierte Unterlagen
Mischer
Halter
Zuleitungen