Graphitteile zur PVD- und CVD-Beschichtung

Bei der Erzeugung von dünnen TiC- und TiN-Schichten in PVD- und CVD-Verfahren findet Graphit und die aus diesem Werkstoff gefertigten Teile Verwendung.

Dank der hohen Wärmebeständigkeit sowie chemischen und mechanischen Festigkeit von Graphit werden bei den vorgenannten Verfahren folgende Produkte eingesetz

Graphittragringe

perforierte Unterlagen

Mischer

Halter

Zuleitungen