Детали из графита для физических / PVD и химических /CVD износостойких покрытий

Графит и изделия из него находят свое применение и при нанесении тонких пленок TiC и TiN посредством парофазного PVD и CVD осаждения.

Благодаря высокой тепловой, химической и механической устойчивости графита в перечисленных выше процессах используются:

графитовые несущие кружки

перфорированные подложки

смесители

держатели

подающие трубы