Grafitové diely pre PVD a CVD povlakovanie

Pri vytváraní tenkých vrstiev TiC a TiN prostredníctvom PVD a CVD procesov má svoje uplatnenie aj grafit a súčiastky vyrobené z tohto materiálu.

Pvd cvd povlaky (coating)

Výhodou CVD povlakovania je následná vyššia odolnosť proti opotrebeniu. Vďaka odolnosti proti opotrebeniu sa v praxi používa CVD povlakovanie a PVD povlakovanie, ktoré sa využíva pri veľkých rezných silách. Všeobecne sú povlakované nástroje používané vďaka svojej odolnosti voči opotrebeniu a vyššej životnosti.

Vďaka vysokej tepelnej, chemickej a mechanickej odolnosti grafitu sa pri PVD a CVD povlakovaní  používajú nasledovné grafitové výrobky:

  • grafitové nosné krúžky
  • dierované grafitové podložky
  • zmiešavače
  • držiaky
  • prívodné rúry